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安集微电子申请化学机械抛光组合物专利,减小缺陷风险

信息来源:jooxoo.com   时间: 2025-09-22  浏览次数:1074


本文源自:金融界

金融界2025年7月1日消息,国家知识产权局信息显示,安集微电子科技(上海)股份有限公司申请一项名为“一种化学机械抛光组合物”的专利,公开号CN120230473A,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,本发明提供一种化学机械抛光组合物。采用研磨剂与有机羧酸、氧化剂、腐蚀抑制剂组合,得到一种可以具有高抛光速度、低钨腐蚀的抛光组合物。本发明解决的技术问题是在不影响钨的抛光速度同时,降低钨的腐蚀速率,从而减小了缺陷风险,提高良率。

天眼查资料显示,安集微电子科技(上海)股份有限公司,成立于2006年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12921.3274万人民币。通过天眼查大数据分析,安集微电子科技(上海)股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目30次,专利信息227条,此外企业还拥有行政许可87个。


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